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洁净防爆桥式起重机

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洁净防爆桥式起重机

该起重机是满足新生产工艺的具备自动、洁净、防爆功能的起重机。使用环境为半导体材料车间,无尘化设计,空气清洁度等级为4级(国标7级)(即每立方米内0.1μm大小的颗粒物不大于10000个)。同时该车间内存在易燃易爆气体,起重机防爆等级dIICT4。该起重机采用中控室计算机自动控制,可将还原炉和硅棒工具从还原炉平台、清洗平台、中转平台、拆棒工具等位置之间根据设定工作路线自动运行。